Bộ công cụ đánh giá SFS01
Bộ công cụ đánh giá SFS của Innovative Sensor Technology bao gồm mô-đun cảm biến lưu lượng nhiệt SFS và một bộ chuyển đổi khối lỏng. Mô-đun lưu lượng SFS theo dõi lưu lượng khí nhanh và liên tục. Mô-đun lưu lượng này có thể được hiệu chuẩn tại nhà máy theo sccm (ml/phút) với khả năng tái tạo 0.2%. Mô-đun lưu lượng có chân địa chỉ phần cứng cho các hệ thống có tối đa bốn mô-đun và tốc độ lấy mẫu >100Hz. Bộ công cụ đánh giá SFS01 được sử dụng trong các bộ phân tích khí, van trộn khí, hệ thống cấp và định lượng khí, thiết bị y tế và thiết bị phân tích.
